Products光刻膠-電子束光刻膠
徐州博康是國內(nèi)一家從原材料到成品光刻膠供應(yīng)商。
可提供從PMMA、PHS、 P(MCA/MST)、 HSQ等不同體系的產(chǎn)品，包括正性和負(fù)性兩大類，具有高分辨和耐刻蝕等優(yōu)點。技術(shù)及生產(chǎn)能力達(dá)到國際水平，目前是國內(nèi)唯一一家可以提供電子束膠的公司。2015年進(jìn)入銷售， 服務(wù)于超過15+家客戶。
| 曝光波長 | 產(chǎn)品名稱 | 技術(shù)節(jié)點及應(yīng)用 | 工藝能力CD | 工藝能力THK | 圖像 |
|---|---|---|---|---|---|
| 電子束光刻膠 | RE209 | 微納加工 | 0.012um | 0.24um |  |
| 電子束光刻膠 | RE300系列 | 微納加工 | 0.05um | 0.12-0.6 |  |
| 電子束光刻膠 | RE650 | 微納加工 | 0.04um | 0.2-0.3um |  |
| 電子束光刻膠 | RE500 | 微納加工 | 0.02um | 0.12um |  |
| 電子束光刻膠 | NRE800 | 微納加工 | 0.03um | 0.2-0.35um |  |
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