Products光刻膠-ArF光刻膠
徐州博康是國(guó)內(nèi)一家從原材料到成品光刻膠供應(yīng)商。
包括ArF-immersion（topcoat less）產(chǎn)品和ArF-dry產(chǎn)品，樹(shù)脂結(jié)構(gòu)為甲基丙烯酸酯/丙烯酸酯系列體系，伴有金剛烷等功能單元，具有高分辨率、高靈敏度、耐刻蝕等特點(diǎn)，技術(shù)能力已經(jīng)達(dá)到28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)，目前已有10+支產(chǎn)品在國(guó)內(nèi)知名12寸Fab驗(yàn)證，部分產(chǎn)品已獲批量訂單。
| 曝光波長(zhǎng) | 產(chǎn)品名稱(chēng) | 技術(shù)節(jié)點(diǎn)及應(yīng)用 | 工藝能力CD | 工藝能力THK | 圖像 |
|---|---|---|---|---|---|
| 193nm IMM | HTA116 | N40nm-14nm PTD L/S | 0.063um | 0.16-0.24um |  |
| 193nm IMM | HTA112 | N40nm-14nm PTD C/H | 0.080um | 0.13-0.20um |  |
| 193nm Dry | HTA121 | N90-40nm PTD L/S | 0.08um | 0.20-0.30um |  |
| 193nm Dry | HTA1101 | N90-40nm PTD C/H | 0.09um | 0.15-0.21um |  |
| 193nm Dry | HTA1123 | N90-40nm PTD C/H | 0.10um | 0.20-0.30um |  |
| 193nm Dry | HTA1201 | N90-40nm PTD C/H | 0.10um | 0.23-0.35um |  |
| 193nm IMM | HTA2031 | N40nm-14nm PTD C/H | 0.045um | 0.08~0.10um |  |
| 193nm IMM | HTA2011 | N40nm-14nm PTD C/H | 0.065um | 0.09~0.12um |  |
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