Products光刻膠-KrF光刻膠
徐州博康是國(guó)內(nèi)一家從原材料到成品光刻膠供應(yīng)商。
PHS樹(shù)脂體系，包括高活化能正膠、低活化能正膠以及負(fù)性膠等產(chǎn)品，具有高解析度、耐刻蝕、抗離子注入等優(yōu)點(diǎn)。薄膠以高分辨為特點(diǎn)，解析度可達(dá)HP120nm，厚膠以高深寬比為特點(diǎn)，AR可達(dá)12:1，已進(jìn)入客戶端驗(yàn)證。目前已有近20+支KrF產(chǎn)品在國(guó)內(nèi)12寸Fab驗(yàn)證及銷售。
| 曝光波長(zhǎng) | 產(chǎn)品名稱 | 技術(shù)節(jié)點(diǎn)及應(yīng)用 | 工藝能力CD | 工藝能力THK | 圖像 |
|---|---|---|---|---|---|
| 248nm | HTK1061 | N40-14nm KrF L/S (IMP,Etch) | 0.12um | 0.20-0.30um |  |
| 248nm | HTK1062 | N40-14nm KrF L/S (IMP,Etch) | 0.14um | 0.17-0.24um |  |
| 248nm | HTK1063 | N40-14nm KrF L/S (IMP,Etch) | 0.16um | 0.22-0.32um |  |
| 248nm | HTK1064 | N40-28nm KrF L/S (Etch) | 0.16um | 0.35-0.54um |  |
| 248nm | HTK1065 | N65/55nm KrF L/S (IMP) | 0.16um | 0.24-0.34um |  |
| 248nm | HTK1066 | N65/55nm KrF L/S (IMP) | 0.16um | 0.33-0.48um |  |
| 248nm | HTK1067 | N40-14nm KrF L/S (IMP) | 0.16um | 0.33-0.48um |  |
| 248nm | HTK1075 | N40nm-14nm KrF L/S (IMP,Etch) | 0.20um | 0.65-0.95um |  |
| 248nm | HTK1082 | N40nm-14nm KrF L/S (IMP,Etch) | 0.30um | 0.80-1.20um |  |
| 248nm | HTK3001 | N90-14nm KrF L/S, C/H, (IMP,Etch) | 0.32um | 1.0-1.5um |  |
| 248nm | HTK5001 | 3DNAND 臺(tái)階刻蝕/高能離子注入 | 1.70um | 3.0-5.0um |  |
| 248nm | HTK510 | 刻蝕 | 2um | 3.0-5.0um |  |
| 248nm | HTK516-1 | PAD | 0.6um | 1.0-2.0um |  |
| 248nm | HTK516-2 | PAD | 1um | 1.5-3.0um |  |
| 248nm | HTKN601-0.4 | 化合物半導(dǎo)體 (金屬剝離,KrF 負(fù)膠) | 0.2um | 0.3-0.6um |  |
